FT-27-MAD2双轴系列MEMS光纤加速度传感器是一种双正交单分向的宽频带加速度传感器，是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术
。该系列传感器将加速度检测质量块、弹性支撑体、光学反射微镜、光入射及出射波导直接集成在一个微小的芯片上，真正实现了对加速度信号的全光检测和传输
。

FT-27-MAD3双耳三轴系列MEMS光纤加速度传感器是一种三正交单分向的宽频带加速度传感器，是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术
。该系列传感器将加速度检测质量块、弹性支撑体、光学反射微镜、光入射及出射波导直接集成在一个微小的芯片上，真正实现了对加速度信号的全光检测和传输
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